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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第872位 31件 (2019年:第821位 36件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第547位 42件 (2019年:第612位 37件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6697108 | レーザ装置及び極端紫外光生成システム | 2020年 5月20日 | |
特許 6689255 | ターゲット撮像装置、極端紫外光生成装置及び極端紫外光生成システム | 2020年 4月28日 | |
特許 6689281 | 極端紫外光生成装置 | 2020年 4月28日 | |
特許 6676066 | 極端紫外光生成装置 | 2020年 4月 8日 | |
特許 6676127 | ターゲット供給装置、極端紫外光生成装置及び電子デバイスの製造方法 | 2020年 4月 8日 | |
特許 6671387 | レーザ装置管理システム | 2020年 3月25日 | |
特許 6661669 | 極端紫外光生成装置 | 2020年 3月11日 | |
特許 6649957 | 極端紫外光生成装置 | 2020年 2月19日 | |
特許 6649958 | 極端紫外光生成システム | 2020年 2月19日 | |
特許 6650921 | 放電励起式ガスレーザ装置 | 2020年 2月19日 | |
特許 6646676 | 極端紫外光生成装置 | 2020年 2月14日 | |
特許 6637155 | 極端紫外光生成装置 | 2020年 1月29日 | |
特許 6637158 | ドロップレットタイミングセンサ | 2020年 1月29日 | |
特許 6634015 | 極端紫外光生成装置 | 2020年 1月22日 |
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6697108 6689255 6689281 6676066 6676127 6671387 6661669 6649957 6649958 6650921 6646676 6637155 6637158 6634015
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11月22日(金) -
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11月22日(金) -
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11月22日(金) -
11月22日(金) -
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11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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