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ギガフォトン株式会社

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ギガフォトン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7879699	ターゲット供給システム、極端紫外光生成装置、及び電子デバイスの製造方法	2026年 6月24日
特許 7872190	軸受装置、および軸受装置を備えたレーザ装置	2026年 6月 9日
特許 7867661	紫外線レーザ装置、電子デバイスの製造方法、及びシステム	2026年 6月 1日
特許 7866038	ガスレーザ装置のチャンバ及び電子デバイスの製造方法	2026年 5月26日
特許 7865945	チャンバ装置、及び電子デバイスの製造方法	2026年 5月26日
特許 7865749	ターゲット供給システム、極端紫外光生成装置、及び電子デバイスの製造方法	2026年 5月26日
特許 7864818	レーザ装置、レーザ加工システム、及びレーザ加工方法	2026年 5月25日
特許 7864817	ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法	2026年 5月25日
特許 7849186	極端紫外光生成装置及び電子デバイスの製造方法	2026年 4月21日
特許 7847655	ガスレーザ装置及び電子デバイスの製造方法	2026年 4月17日
特許 7841957	ＥＵＶ光生成システム、及び電子デバイスの製造方法	2026年 4月 7日
特許 7839192	レーザ装置、及び電子デバイスの製造方法	2026年 4月 1日
特許 7827545	極端紫外光生成装置及び電子デバイスの製造方法	2026年 3月10日
特許 7825044	感光基板の現像方法、フォトマスクの作成方法、及び電子デバイスの製造方法	2026年 3月 5日
特許 7813870	放電電極、放電電極の製造方法、及び電子デバイスの製造方法	2026年 2月13日

33 件中 16-30 件を表示

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7879699 7872190 7867661 7866038 7865945 7865749 7864818 7864817 7849186 7847655 7841957 7839192 7827545 7825044 7813870

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