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日新イオン機器株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第1072位 25件 上昇2010年:第1636位 16件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第2601位 7件 下降2010年:第1644位 12件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2011-253775 イオン注入装置 2011年12月15日
特開 2011-249096 イオン注入装置 2011年12月 8日
特開 2011-243450 イオン注入装置 2011年12月 1日
特開 2011-233387 ビーム電流密度分布の調整目標設定方法及びイオン注入装置 2011年11月17日
特開 2011-233386 イオン注入装置及びビーム電流密度分布調整方法 2011年11月17日
特開 2011-228044 イオン源及びイオン注入装置 2011年11月10日
特開 2011-222733 ウェーハハンドリング方法およびイオン注入装置 2011年11月 4日
特開 2011-222386 イオン注入方法およびイオン注入装置 2011年11月 4日
特開 2011-198667 イオン注入装置およびイオン注入方法 2011年10月 6日
特開 2011-198738 複数の磁場集中部材をカバーする保護部材を備えたイオンビーム照射装置用磁石 2011年10月 6日
特開 2011-192583 イオンビーム照射装置 2011年 9月29日
特開 2011-192582 イオンビーム照射装置 2011年 9月29日
特開 2011-187403 非対称なアインツェルレンズを有するビーム偏向器を備えたイオン注入装置 2011年 9月22日
特開 2011-187393 ウエハスキャン装置及びイオン注入装置 2011年 9月22日
特開 2011-187309 イオンビーム照射装置 2011年 9月22日

25 件中 1-15 件を表示

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2011-253775 2011-249096 2011-243450 2011-233387 2011-233386 2011-228044 2011-222733 2011-222386 2011-198667 2011-198738 2011-192583 2011-192582 2011-187403 2011-187393 2011-187309

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