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日新イオン機器株式会社

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  2015年 出願公開件数ランキング    第1659位 14件 下降2014年:第1043位 26件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第1611位 11件 上昇2014年:第1674位 14件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2015-211152 真空処理システム、真空処理装置、潤滑剤供給装置および潤滑剤供給方法 2015年11月24日
特開 2015-203140 イオン注入装置 2015年11月16日
特開 2015-173052 イオン注入装置及びイオン注入方法 2015年10月 1日
特開 2015-170451 イオン源及びそのイオン源を用いたイオン照射装置 2015年 9月28日
特開 2015-164142 イオンビーム照射装置 2015年 9月10日
特開 2015-145807 微粒子検出装置 2015年 8月13日
特開 2015-115467 基板保持装置、半導体製造装置及び基板吸着判別方法 2015年 6月22日
特開 2015-109193 プラズマ源 2015年 6月11日
再表 2013-122088 イオンビーム照射装置 2015年 5月11日
特開 2015-73066 ロードロック装置 2015年 4月16日
特開 2015-65010 防着板支持部材およびこれを備えたプラズマ源 2015年 4月 9日
特開 2015-57789 エネルギー線照射システム 2015年 3月26日
特開 2015-53208 イオン源 2015年 3月19日
特開 2015-15330 半導体製造装置 2015年 1月22日
特開 2015-15372 静電チャックシステムおよび半導体製造装置 2015年 1月22日

15 件中 1-15 件を表示

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2015-211152 2015-203140 2015-173052 2015-170451 2015-164142 2015-145807 2015-115467 2015-109193 2013-122088 2015-73066 2015-65010 2015-57789 2015-53208 2015-15330 2015-15372

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