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日新イオン機器株式会社

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  2021年 出願公開件数ランキング    第2162位 10件 下降2020年:第1571位 15件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第2213位 7件 下降2020年:第1660位 10件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2021-197228 イオン源 2021年12月27日
特開 2021-197459 ウエハ離脱装置及びウエハ離脱方法 2021年12月27日
特開 2021-152424 基板冷却装置 2021年 9月30日
特開 2021-141053 イオンビーム照射装置の運転方法、イオンビーム照射装置 2021年 9月16日
特開 2021-120944 イオン注入装置 2021年 8月19日
特開 2021-48133 イオン注入装置 2021年 3月25日
特開 2021-48355 基板処理装置 2021年 3月25日
特開 2021-40081 イオンビーム照射装置のクリーニング方法 2021年 3月11日
特開 2021-26870 ビームプロファイルの判定方法およびイオンビーム照射装置 2021年 2月22日
特開 2021-7140 加熱装置 2021年 1月21日

10 件中 1-10 件を表示

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2021-197228 2021-197459 2021-152424 2021-141053 2021-120944 2021-48133 2021-48355 2021-40081 2021-26870 2021-7140

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