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株式会社日立ハイテクノロジーズ

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  2016年 出願公開件数ランキング    第182位 243件 下降2015年:第107位 423件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第89位 360件 上昇2015年:第95位 287件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6047672 真空処理装置 2016年12月21日
特許 6049052 ウエハ外観検査装置及びウエハ外観検査装置における感度しきい値設定方法 2016年12月21日
特許 6049101 検査装置 2016年12月21日
特許 6050939 容器及び容器を保持する装置 2016年12月21日
特許 6051014 試料格納用容器、荷電粒子線装置、及び画像取得方法 2016年12月21日
特許 6042213 凹面光学素子の測定装置及び凹面回折格子の測定装置並びに平面回折格子の測定装置 2016年12月14日
特許 6043476 イオン源およびそれを用いたイオンビーム装置 2016年12月14日
特許 6043528 パターン測定装置 2016年12月14日
特許 6043529 パターン測定装置、及び輪郭線抽出装置 2016年12月14日
特許 6043568 質量分析装置、質量分析方法、及びイオン源 2016年12月14日
特許 6043735 画像評価装置及びパターン形状評価装置 2016年12月14日
特許 6043813 表面計測装置 2016年12月14日
特許 6043852 プラズマ処理装置 2016年12月14日
特許 6037693 荷電粒子線装置 2016年12月 7日
特許 6037701 免疫分析装置 2016年12月 7日

362 件中 16-30 件を表示

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6047672 6049052 6049101 6050939 6051014 6042213 6043476 6043528 6043529 6043568 6043735 6043813 6043852 6037693 6037701

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