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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第223位 175件
(
2015年:第200位 230件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第254位 129件
(
2015年:第329位 83件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特開 2016-58724 | 処理モジュール、処理装置、及び、処理方法 | 2016年 4月21日 | |
| 特開 2016-49572 | 研磨方法および研磨装置 | 2016年 4月11日 | |
| 特開 2016-49612 | 研磨方法および研磨装置 | 2016年 4月11日 | |
| 特開 2016-49615 | 終点検出方法、及び、研磨装置 | 2016年 4月11日 | |
| 特開 2016-50415 | 真空式排液収集システム | 2016年 4月11日 | |
| 特開 2016-50440 | ドア枠の取付構造及び取付方法 | 2016年 4月11日 | |
| 特開 2016-51858 | リンス槽および該リンス槽を用いた基板洗浄方法 | 2016年 4月11日 | |
| 特開 2016-52218 | 永久磁石型回転子を有する回転電機 | 2016年 4月11日 | |
| 特開 2016-47593 | 研磨パッドのコンディショニング方法及び装置 | 2016年 4月 7日 | |
| 特開 2016-43442 | 研磨装置 | 2016年 4月 4日 | |
| 特開 2016-43471 | 基板処理装置 | 2016年 4月 4日 | |
| 特開 2016-43472 | 基板処理装置 | 2016年 4月 4日 | |
| 特開 2016-43473 | バフ処理モジュール、及び、処理装置 | 2016年 4月 4日 | |
| 特開 2016-44555 | 先行待機型ポンプ | 2016年 4月 4日 | |
| 特開 2016-46341 | 研磨方法 | 2016年 4月 4日 |
175 件中 136-150 件を表示
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2016-58724 2016-49572 2016-49612 2016-49615 2016-50415 2016-50440 2016-51858 2016-52218 2016-47593 2016-43442 2016-43471 2016-43472 2016-43473 2016-44555 2016-46341
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