株式会社荏原製作所
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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第223位 175件
（
2015年：第200位 230件）
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第254位 129件
（
2015年：第329位 83件）
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株式会社荏原製作所の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特開 2016-18847 | 基板処理装置及び基板搬送方法 | 2016年 2月 1日 | |
| 特開 2016-15469 | 洗浄薬液供給装置、洗浄薬液供給方法、及び洗浄ユニット | 2016年 1月28日 | |
| 特開 2016-7652 | 研磨パッドの温度調節システムおよびこれを備えた基板処理装置 | 2016年 1月18日 | |
| 特開 2016-8531 | 真空ポンプ装置 | 2016年 1月18日 | |
| 特開 2016-9818 | 洗浄ユニット | 2016年 1月18日 | |
| 特開 2016-6225 | 基板電解処理装置、および該基板電解処理装置に使用されるパドル | 2016年 1月14日 | |
| 特開 2016-6372 | 消音器 | 2016年 1月14日 | |
| 特開 2016-6856 | 基板研磨装置 | 2016年 1月14日 | |
| 特開 2016-3376 | 基板ホルダ、該基板ホルダを備えためっき装置、およびめっき方法 | 2016年 1月12日 | |
| 特開 2016-3513 | リフト損失低減装置及びリフト損失低減方法 | 2016年 1月12日 | |
| 特開 2016-1703 | 基板乾燥装置 | 2016年 1月 7日 |
175 件中 166-176 件を表示
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2016-18847 2016-15469 2016-7652 2016-8531 2016-9818 2016-6225 2016-6372 2016-6856 2016-3376 2016-3513 2016-1703
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