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株式会社荏原製作所

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  2018年 特許取得件数ランキング    第170位 177件 上昇2017年:第183位 176件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6430718 真空ポンプ装置 2018年11月28日
特許 6430722 キャンドモータ及びこれを備えた真空ポンプ 2018年11月28日
特許 6431156 基板処理装置 2018年11月28日
特許 6431159 基板洗浄装置 2018年11月28日
特許 6426965 処理コンポーネント、処理モジュール、及び、処理方法 2018年11月21日
特許 6427131 研磨装置および研磨方法 2018年11月21日
特許 6422443 すべり軸受装置 2018年11月14日
特許 6423582 検査装置および検査用画像データの生成方法 2018年11月14日
特許 6423600 膜厚測定装置、及び、研磨装置 2018年11月14日
特許 6424144 金属検知用センサー及び該センサーを用いた金属検知方法 2018年11月14日
特許 6420108 配管接続方法 2018年11月 7日
特許 6420415 基板処理装置 2018年11月 7日
特許 6420700 多段ポンプ 2018年11月 7日
特許 6420701 ポンプ 2018年11月 7日
特許 6415116 汚水ポンプ用のケーシングライナ及びこれを備えた汚水ポンプ 2018年10月31日

178 件中 16-30 件を表示

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6430718 6430722 6431156 6431159 6426965 6427131 6422443 6423582 6423600 6424144 6420108 6420415 6420700 6420701 6415116

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