株式会社荏原製作所
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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第114位 380件
（
2017年：第123位 417件）
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第170位 177件
（2017年：第183位 176件）
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株式会社荏原製作所の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6404593 | ポンプ装置 | 2018年10月10日 | |
| 特許 6399873 | 膜厚信号処理装置、研磨装置、膜厚信号処理方法、及び、研磨方法 | 2018年10月 3日 | |
| 特許 6399973 | めっき装置の調整方法及び測定装置 | 2018年10月 3日 | |
| 特許 6401021 | 基板洗浄装置、基板処理装置、および基板洗浄方法 | 2018年10月 3日 | |
| 特許 6395477 | 水中軸受構造、及び、立軸ポンプ | 2018年 9月26日 | |
| 特許 6396098 | 液体ポンプ、および、液体ポンプの維持管理方法 | 2018年 9月26日 | |
| 特許 6392193 | 基板保持装置および基板研磨装置ならびに基板保持装置の製造方法 | 2018年 9月19日 | |
| 特許 6392681 | アノードユニットおよび該アノードユニットを備えためっき装置 | 2018年 9月19日 | |
| 特許 6393386 | 非接触環状シール | 2018年 9月19日 | |
| 特許 6388299 | スイッチドリラクタンスモータのセンサレス駆動装置 | 2018年 9月12日 | |
| 特許 6389657 | すべり軸受装置 | 2018年 9月12日 | |
| 特許 6386307 | リンス槽および該リンス槽を用いた基板洗浄方法 | 2018年 9月 5日 | |
| 特許 6386769 | 基板乾燥装置、制御プログラム、及び基板乾燥方法 | 2018年 9月 5日 | |
| 特許 6382096 | めっき方法、めっき装置、および基板ホルダ | 2018年 8月29日 | |
| 特許 6382147 | すべり軸受装置及びこれを備えたポンプ | 2018年 8月29日 |
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6404593 6399873 6399973 6401021 6395477 6396098 6392193 6392681 6393386 6388299 6389657 6386307 6386769 6382096 6382147
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