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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第114位 380件
(2017年:第123位 417件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第170位 177件
(2017年:第183位 176件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6383450 | めっき装置 | 2018年 8月29日 | |
特許 6377463 | 終点検出方法、及び、研磨装置 | 2018年 8月22日 | |
特許 6377758 | 基板洗浄ロール、基板洗浄装置、及び基板洗浄方法 | 2018年 8月22日 | |
特許 6378005 | 真空式排液収集システム | 2018年 8月22日 | |
特許 6378555 | 洗浄ユニット | 2018年 8月22日 | |
特許 6378890 | 基板処理方法 | 2018年 8月22日 | |
特許 6372847 | 研磨装置 | 2018年 8月15日 | |
特許 6373796 | 基板研磨装置 | 2018年 8月15日 | |
特許 6374169 | 研磨方法および研磨装置 | 2018年 8月15日 | |
特許 6374998 | 自吸式ポンプの運転装置、液体供給装置、及び自吸式ポンプの運転方法 | 2018年 8月15日 | |
特許 6370084 | 基板処理装置 | 2018年 8月 8日 | |
特許 6371578 | 天板開閉機構及び検査装置 | 2018年 8月 8日 | |
特許 6366289 | 状態報告装置、基板処理装置、及び状態報告方法 | 2018年 8月 1日 | |
特許 6366544 | 洗浄装置及びロール洗浄部材 | 2018年 8月 1日 | |
特許 6367419 | 研磨方法および研磨装置 | 2018年 8月 1日 |
178 件中 61-75 件を表示
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6383450 6377463 6377758 6378005 6378555 6378890 6372847 6373796 6374169 6374998 6370084 6371578 6366289 6366544 6367419
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