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株式会社荏原製作所

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  2018年 特許取得件数ランキング    第170位 177件 上昇2017年:第183位 176件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6415643 研磨装置 2018年10月31日
特許 6416435 基板のめっきに使用される酸化銅固形物、該酸化銅固形物を製造する方法、およびめっき液をめっき槽まで供給するための装置 2018年10月31日
特許 6416500 ポンプ装置 2018年10月31日
特許 6411040 液封式真空ポンプ及びそれに用いる羽根車 2018年10月24日
特許 6411902 立軸ポンプ 2018年10月24日
特許 6411943 基板電解処理装置、および該基板電解処理装置に使用されるパドル 2018年10月24日
特許 6412217 研磨装置 2018年10月24日
特許 6412385 コンディショニング部、バフ処理モジュール、基板処理装置、及び、ドレスリンス方法 2018年10月24日
特許 6407093 電解処理装置 2018年10月17日
特許 6408936 めっき装置 2018年10月17日
特許 6408990 立軸ポンプ 2018年10月17日
特許 6408995 海水淡水化システムおよびエネルギー回収装置 2018年10月17日
特許 6401319 研磨装置 2018年10月10日
特許 6403981 基板保持装置、研磨装置、研磨方法、およびリテーナリング 2018年10月10日
特許 6404172 膜厚測定方法、膜厚測定装置、研磨方法、および研磨装置 2018年10月10日

178 件中 31-45 件を表示

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6415643 6416435 6416500 6411040 6411902 6411943 6412217 6412385 6407093 6408936 6408990 6408995 6401319 6403981 6404172

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