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株式会社SUMCO

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  2011年 出願公開件数ランキング    第195位 221件 下降2010年:第150位 334件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第419位 79件 上昇2010年:第455位 62件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2011-258850 ボイドの検出方法および装置 2011年12月22日
特開 2011-253978 エピタキシャル基板およびその製造方法 2011年12月15日
特開 2011-253841 ウェーハ保持具 2011年12月15日
特開 2011-253896 キャリアプレート、複数のキャリアプレート、ウェーハの研磨装置、ウェーハの研磨方法 2011年12月15日
特開 2011-251270 シリコンスラッジの洗浄方法 2011年12月15日
特開 2011-249479 単結晶シリコンウェーハの評価方法 2011年12月 8日
特開 2011-246341 シリコン単結晶引き上げ装置及びシリコン単結晶の製造方法 2011年12月 8日
特開 2011-243914 スライス台のリサイクル方法及びスライス台 2011年12月 1日
特開 2011-243923 シリコンウェーハの製造方法 2011年12月 1日
特開 2011-243925 シリコンウェーハ評価方法およびそれを用いたシリコンウェーハ製造方法 2011年12月 1日
特開 2011-243899 シリコンウェーハの製造方法 2011年12月 1日
特開 2011-243784 ボロンドープp型シリコンウェーハの鉄濃度測定方法および測定装置、シリコンウェーハ、ならびにシリコンウェーハの製造方法 2011年12月 1日
特開 2011-243783 半導体ウェーハ評価方法、半導体ウェーハ評価用標準試料およびその作製方法 2011年12月 1日
特開 2011-237303 ウェーハ欠陥検査装置及びウェーハ欠陥検査方法 2011年11月24日
特開 2011-235371 ドレッシング装置および方法、並びにバンドソー切断機 2011年11月24日

221 件中 1-15 件を表示

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2011-258850 2011-253978 2011-253841 2011-253896 2011-251270 2011-249479 2011-246341 2011-243914 2011-243923 2011-243925 2011-243899 2011-243784 2011-243783 2011-237303 2011-235371

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