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株式会社ＳＵＭＣＯ

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　■　2011年特許取得件数ランキング　　　第419位　79件（2010年：第455位　62件）

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株式会社ＳＵＭＣＯの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特開 2011-108765	エピタキシャル成長装置およびエピタキシャル成長方法	2011年 6月 2日
特開 2011-108745	エピタキシャルウェーハ及びその製造方法	2011年 6月 2日
特開 2011-108791	シリコンウェーハおよびその製造方法	2011年 6月 2日
特開 2011-105526	シリコン単結晶の育成方法	2011年 6月 2日
特開 2011-107882	シリコンウェーハの工程計画立案システム、工程計画立案方法及びプログラム	2011年 6月 2日
特開 2011-109047	ＳＩＭＯＸウェーハの製造方法	2011年 6月 2日
特開 2011-103379	ウェーハの平坦化加工方法	2011年 5月26日
特開 2011-101930	仕上研磨前シリコンウェーハの表面平坦化方法およびシリコンウェーハの表面平坦化装置	2011年 5月26日
特開 2011-103354	半導体ウェーハの裏面粗さ評価方法及び評価装置	2011年 5月26日
特開 2011-103409	ウェーハ貼り合わせ方法	2011年 5月26日
特開 2011-100996	半導体基板内部の重金属の除去方法	2011年 5月19日
特開 2011-100978	半導体基板の洗浄方法および洗浄装置	2011年 5月19日
特開 2011-96979	シリコンウェーハ及びその製造方法	2011年 5月12日
特開 2011-91143	シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法	2011年 5月 6日
特開 2011-91296	半導体ウェーハの研磨方法	2011年 5月 6日

221 件中 91-105 件を表示

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2011-108765 2011-108745 2011-108791 2011-105526 2011-107882 2011-109047 2011-103379 2011-101930 2011-103354 2011-103409 2011-100996 2011-100978 2011-96979 2011-91143 2011-91296

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