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株式会社SUMCO

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  2014年 出願公開件数ランキング    第737位 41件 下降2013年:第585位 64件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第212位 189件 上昇2013年:第276位 144件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5428214 半導体ウェーハの製造方法、半導体ウェーハ、及び、半導体ウェーハの結晶評価方法 2014年 2月26日
特許 5418099 両面研磨装置の研磨布の洗浄方法及び洗浄装置 2014年 2月19日
特許 5422996 半導体インゴット搬送システム 2014年 2月19日
特許 5417833 半導体インゴット反転装置 2014年 2月19日
特許 5418009 シリコン単結晶の製造装置及び製造方法 2014年 2月19日
特許 5417965 単結晶成長方法 2014年 2月19日
特許 5417735 シリコン単結晶の育成方法 2014年 2月19日
特許 5417793 表面検査方法 2014年 2月19日
特許 5423384 半導体ウェーハおよびその製造方法 2014年 2月19日
特許 5423032 シリコン基板中のCu及びNi含有量の評価方法 2014年 2月19日
特許 5417998 ウェーハ製造履歴追跡方法 2014年 2月19日
特許 5415297 石英ガラスルツボ製造装置 2014年 2月12日
特許 5413354 シリコン単結晶引き上げ装置及びシリコン単結晶の製造方法 2014年 2月12日
特許 5413342 シリコンウェーハ表層部のエッチング方法およびシリコンウェーハの金属汚染分析方法 2014年 2月12日
特許 5412759 エピタキシャルウェーハの保持具及びそのウェーハの製造方法 2014年 2月12日

189 件中 151-165 件を表示

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5428214 5418099 5422996 5417833 5418009 5417965 5417735 5417793 5423384 5423032 5417998 5415297 5413354 5413342 5412759

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