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■ 2014年 出願公開件数ランキング 件
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2013年: 件)
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2013年: 件)
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| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5644861 | 半導体結晶製造装置用排気通路のクリーニング装置及びそのクリーニング方法 | 2014年12月24日 | |
| 特許 5644401 | エピタキシャルウェーハの製造方法およびエピタキシャルウェーハ | 2014年12月24日 | |
| 特許 5633167 | エピタキシャル成長システム | 2014年12月 3日 | |
| 特許 5636168 | シリコン単結晶の育成方法 | 2014年12月 3日 | |
| 特許 5636203 | 半導体基板、半導体装置及び半導体基板の製造方法 | 2014年12月 3日 | 共同出願 |
| 特許 5630527 | 貼合せSOIウェーハの製造方法 | 2014年11月26日 | |
| 特許 5625229 | エピタキシャルシリコンウェーハおよびその製造方法 | 2014年11月19日 | |
| 特許 5625546 | ウェーハエッチング用治具 | 2014年11月19日 | |
| 特許 5621612 | シリコン単結晶の検査方法および製造方法 | 2014年11月12日 | |
| 特許 5622124 | シリコンウェーハの研磨方法 | 2014年11月12日 | |
| 特許 5618409 | シリカガラスルツボ | 2014年11月 5日 | |
| 特許 5614857 | シリカガラスルツボの評価方法 | 2014年10月29日 | |
| 特許 5613994 | シリコンウェーハおよびその製造方法 | 2014年10月29日 | |
| 特許 5609025 | エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 | 2014年10月22日 | |
| 特許 5610570 | シリカガラスルツボ、シリコンインゴットの製造方法 | 2014年10月22日 |
189 件中 1-15 件を表示
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5644861 5644401 5633167 5636168 5636203 5630527 5625229 5625546 5621612 5622124 5618409 5614857 5613994 5609025 5610570
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