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株式会社ＳＵＭＣＯ

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株式会社ＳＵＭＣＯの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7196913	石英ルツボの透過率測定方法及び装置	2022年12月27日
特許 7192883	石英ガラスルツボ	2022年12月20日
特許 7192761	研磨装置への半導体ウェーハの受け渡し方法および半導体ウェーハの製造方法	2022年12月20日
特許 7192757	エピタキシャルシリコンウェーハ及びその製造方法並びにＸ線検出センサ	2022年12月20日
特許 7192756	気相成長装置及び気相成長方法	2022年12月20日
特許 7192745	炭素製ルツボ	2022年12月20日
特許 7188283	シリコンウェーハの評価方法	2022年12月13日
特許 7188256	気相成長方法及び気相成長装置	2022年12月13日
特許 7188250	気相成長装置及びこれに用いられるキャリア	2022年12月13日
特許 7185879	半導体試料の評価方法	2022年12月 8日
特許 7184032	シリコン試料の炭素濃度評価方法およびこの方法に使用される評価装置、シリコンウェーハ製造工程の評価方法、シリコンウェーハの製造方法ならびにシリコン単結晶インゴットの製造方法	2022年12月 6日
特許 7184029	単結晶シリコンインゴットの製造方法	2022年12月 6日
特許 7184025	シリコン単結晶の製造方法	2022年12月 6日
特許 7176508	シリコンウェーハの欠陥検査方法及びシリコンウェーハの欠陥検査システム	2022年11月22日
特許 7172878	単結晶シリコンの抵抗率測定方法	2022年11月16日

113 件中 1-15 件を表示

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7196913 7192883 7192761 7192757 7192756 7192745 7188283 7188256 7188250 7185879 7184032 7184029 7184025 7176508 7172878

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