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株式会社SUMCO

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  2020年 出願公開件数ランキング    第356位 104件 下降2019年:第321位 122件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第290位 95件 下降2019年:第185位 146件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6801682 半導体エピタキシャルウェーハの製造方法及び半導体デバイスの製造方法 2020年12月16日
特許 6794977 エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法およびエピタキシャルシリコンウェーハ 2020年12月 2日
特許 6791293 エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 2020年11月25日
特許 6791321 シリコン接合ウェーハ 2020年11月25日
特許 6784986 スプレーチャンバー、試料霧化導入装置、分析装置および試料中の成分分析方法 2020年11月18日
特許 6786905 シリコン単結晶の製造方法 2020年11月18日
特許 6787268 半導体エピタキシャルウェーハおよびその製造方法、ならびに固体撮像素子の製造方法 2020年11月18日
特許 6777029 シリコンウェーハ及びその製造方法 2020年10月28日
特許 6770721 シリカガラスルツボ、シリカガラスルツボの製造方法およびシリコン単結晶の引き上げ装置 2020年10月21日
特許 6772498 基板収納容器 2020年10月21日
特許 6772876 回転装置、並びに該回転装置を備える両面研磨装置及び片面研磨装置 2020年10月21日
特許 6772966 エピタキシャル成長用の半導体ウェーハの製造方法及び半導体エピタキシャルウェーハの製造方法 2020年10月21日
特許 6772977 シリコン単結晶引上げ装置及び単結晶シリコンインゴットの製造方法 2020年10月21日
特許 6772995 SOIウェーハの製造方法およびSOIウェーハ 2020年10月21日
特許 6773011 シリコン単結晶のBMD評価方法およびシリコン単結晶の製造方法 2020年10月21日

95 件中 1-15 件を表示

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6801682 6794977 6791293 6791321 6784986 6786905 6787268 6777029 6770721 6772498 6772876 6772966 6772977 6772995 6773011

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