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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6981750 | シリコン単結晶の製造方法およびシリコン単結晶 | 2021年12月17日 | |
特許 6981371 | シリコン単結晶の製造方法 | 2021年12月15日 | |
特許 6977619 | シリコン単結晶の酸素濃度推定方法、およびシリコン単結晶の製造方法 | 2021年12月 8日 | |
特許 6973475 | エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法およびエピタキシャルシリコンウェーハ | 2021年12月 1日 | |
特許 6973544 | 状態判定装置、状態判定方法、及び状態判定プログラム | 2021年12月 1日 | |
特許 6973554 | 石英ガラスルツボ | 2021年12月 1日 | |
特許 6973315 | ワークの両面研磨装置および両面研磨方法 | 2021年11月24日 | |
特許 6973366 | 単結晶シリコンインゴットの製造方法及びシリコン単結晶引上げ装置 | 2021年11月24日 | |
特許 6962463 | III族窒化物半導体基板の製造方法 | 2021年11月 5日 | |
特許 6958491 | 液化ガスタンク | 2021年11月 2日 | |
特許 6958632 | シリコン単結晶及びその製造方法並びにシリコンウェーハ | 2021年11月 2日 | |
特許 6954088 | シリコン単結晶の製造方法 | 2021年10月27日 | |
特許 6954427 | シリコン単結晶の製造方法 | 2021年10月27日 | |
特許 6947126 | シリコンロッドの破砕方法及び装置並びにシリコン塊の製造方法 | 2021年10月13日 | |
特許 6950581 | シリコン単結晶の製造方法およびシリコン単結晶の引き上げ装置 | 2021年10月13日 |
93 件中 1-15 件を表示
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6981750 6981371 6977619 6973475 6973544 6973554 6973315 6973366 6962463 6958491 6958632 6954088 6954427 6947126 6950581
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