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株式会社SUMCO

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  2013年 特許取得件数ランキング    第276位 144件 上昇2012年:第367位 99件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5346424 検査方法及び半導体基板製造方法 2013年11月20日
特許 5344423 炭素電極の製造方法および石英ガラスルツボの製造方法 2013年11月20日
特許 5347801 ワイヤーソー 2013年11月20日
特許 5347309 SOIウェーハの評価方法およびSOIウェーハの製造方法 2013年11月20日
特許 5338530 イオナイザーの管理方法 2013年11月13日
特許 5343723 ワイヤーソー 2013年11月13日
特許 5343371 シリコン基板とその製造方法 2013年11月13日
特許 5343720 ワイヤーソーによる加工方法 2013年11月13日
特許 5343409 半導体ウェーハの湾曲判定方法、膜付きウェーハの製造方法 2013年11月13日
特許 5343400 半導体ウェーハの製造方法 2013年11月13日
特許 5333146 シリコン単結晶の引上げ方法 2013年11月 6日
特許 5332019 石英ガラス製ルツボの品質評価用試料およびその作製方法ならびにその試料を用いた評価方法およびその試料の作製装置。 2013年11月 6日
特許 5332478 レーザー散乱式欠陥検査装置及びレーザー散乱式欠陥検査方法 2013年11月 6日
特許 5326888 エピタキシャルウェーハの製造方法 2013年10月30日
特許 5321980 気相成長用サセプタ 2013年10月23日

144 件中 16-30 件を表示

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5346424 5344423 5347801 5347309 5338530 5343723 5343371 5343720 5343409 5343400 5333146 5332019 5332478 5326888 5321980

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