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株式会社SUMCO

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  2013年 出願公開件数ランキング    第585位 64件 下降2012年:第289位 146件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第276位 144件 上昇2012年:第367位 99件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5273552 ウェーハケース 2013年 8月28日
特許 5277414 石英粉体原料中に含まれる有色異物の検出装置および検出方法 2013年 8月28日
特許 5267361 エピタキシャル成長方法 2013年 8月21日
特許 5267366 シリコンウェーハの処理装置 2013年 8月21日
特許 5267189 エピタキシャルウェーハの製造方法 2013年 8月21日
特許 5262257 窒素ドープシリコン単結晶の製造方法 2013年 8月14日
特許 5262346 シリコン単結晶の製造方法 2013年 8月14日
特許 5262295 塩化水素ガスの供給方法及び塩化水素ガスの供給装置 2013年 8月14日
特許 5262021 シリコンウェーハ及びその製造方法 2013年 8月14日
特許 5261960 半導体基板の製造方法 2013年 8月14日
特許 5262306 半導体ウェーハの洗浄方法 2013年 8月14日
特許 5256910 グルーブローラの構造 2013年 8月 7日
特許 5257424 エピタキシャル成長装置 2013年 8月 7日
特許 5256625 貼り合わせウェーハの評価方法 2013年 8月 7日
特許 5257401 歪シリコンSOI基板の製造方法 2013年 8月 7日

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5273552 5277414 5267361 5267366 5267189 5262257 5262346 5262295 5262021 5261960 5262306 5256910 5257424 5256625 5257401

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