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株式会社SUMCO

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  2014年 出願公開件数ランキング    第737位 41件 下降2013年:第585位 64件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第212位 189件 上昇2013年:第276位 144件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5531385 枚葉式熱処理装置のプロセスチャンバーの冷却方法 2014年 6月25日
特許 5532850 半導体ウェーハの形状測定方法およびそれに用いる形状測定装置 2014年 6月25日
特許 5533884 ウェーハの研磨方法 2014年 6月25日
特許 5527430 ワークの研磨方法 2014年 6月18日
特許 5523018 石英ルツボの製造装置 2014年 6月18日
特許 5526960 再生砥粒群生成方法、ウェーハ製造システム、及びウェーハ製造方法 2014年 6月18日
特許 5521775 単結晶シリコンウェーハの評価方法 2014年 6月18日
特許 5515253 半導体ウェーハの製造方法 2014年 6月11日
特許 5516037 ドレッシング装置および方法、並びにバンドソー切断機 2014年 6月11日
特許 5516713 エピタキシャルウェーハの製造方法 2014年 6月11日
特許 5516158 エピタキシャルウェーハの製造方法 2014年 6月11日
特許 5515876 エピタキシャルウェーハ製造方法 2014年 6月11日
特許 5515406 シリコンウェーハおよびその製造方法 2014年 6月11日
特許 5515593 ワイヤーソーによるシリコンインゴットの切断方法およびワイヤーソー 2014年 6月11日
特許 5515270 シリコンウェーハの熱処理方法及び熱処理装置、並びに、シリコンウェーハ 2014年 6月11日

189 件中 61-75 件を表示

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5531385 5532850 5533884 5527430 5523018 5526960 5521775 5515253 5516037 5516713 5516158 5515876 5515406 5515593 5515270

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