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株式会社ＳＵＭＣＯ

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株式会社ＳＵＭＣＯの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特許 5252157	石英ガラスルツボ	2013年 7月31日
特許 5251137	単結晶シリコンウェーハおよびその製造方法	2013年 7月31日
特許 5250968	エピタキシャルシリコンウェーハ及びその製造方法並びにエピタキシャル成長用シリコンウェーハ。	2013年 7月31日
特許 5245129	石英ガラスルツボの製造方法	2013年 7月24日
特許 5246163	ＩＧＢＴ用のシリコン単結晶ウェーハ及びＩＧＢＴ用のシリコン単結晶ウェーハの製造方法	2013年 7月24日
特許 5246065	エピタキシャルシリコンウェーハとその製造方法	2013年 7月24日
特許 5239117	ＳＯＩ基板の製造方法	2013年 7月17日
特許 5240191	シリコン単結晶引上装置	2013年 7月17日
特許 5239265	シリコン単結晶引上げ用種結晶及び該種結晶を使用したシリコン単結晶の製造方法	2013年 7月17日
特許 5239183	ＳＯＩウェーハ及びその製造方法	2013年 7月17日
特許 5233111	貼り合わせＳＯＩウェーハの製造方法	2013年 7月10日
特許 5234526	シリコン単結晶引上げ用石英ルツボ及びその製造方法	2013年 7月10日
特許 5228671	シリコン単結晶の育成方法	2013年 7月 3日
特許 5228899	シリコンの溶解方法、シリコン溶解装置及びシリコン単結晶製造装置	2013年 7月 3日
特許 5228586	蒸着用マスク、ならびにそれを用いる蒸着パターン作製方法、半導体ウェーハ評価用試料の作製方法、半導体ウェーハの評価方法および半導体ウェーハの製造方法	2013年 7月 3日

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5252157 5251137 5250968 5245129 5246163 5246065 5239117 5240191 5239265 5239183 5233111 5234526 5228671 5228899 5228586

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