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株式会社SUMCO

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  2014年 出願公開件数ランキング    第737位 41件 下降2013年:第585位 64件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第212位 189件 上昇2013年:第276位 144件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5510896 キャリアプレート、複数のキャリアプレート、ウェーハの研磨装置、ウェーハの研磨方法 2014年 6月 4日
特許 5510256 シリコンウェーハの製造方法 2014年 6月 4日
特許 5509741 単結晶の製造方法 2014年 6月 4日
特許 5509636 シリコン単結晶の欠陥解析方法 2014年 6月 4日
特許 5510022 ウェーハ評価方法 2014年 6月 4日
特許 5505241 シリコンウェーハの製造方法 2014年 5月28日
特許 5507799 半導体ウェーハ研磨装置および研磨方法 2014年 5月28日
特許 5504901 研磨パッドの形状修正方法 2014年 5月28日
特許 5504667 シリコンウェーハおよびその製造方法 2014年 5月28日
特許 5504664 シリコンエピタキシャルウェーハおよびその製造方法 2014年 5月28日
特許 5505769 半導体ウェーハの表層評価方法 2014年 5月28日
特許 5504606 半導体ウェーハの品質検査装置 2014年 5月28日
特許 5505713 研磨液分配装置及びこれを備えた研磨装置 2014年 5月28日
特許 5500672 石英ガラスルツボの製造装置および石英ガラスルツボの製造方法 2014年 5月21日
特許 5500687 シリカガラスルツボの製造方法および製造装置 2014年 5月21日

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5510896 5510256 5509741 5509636 5510022 5505241 5507799 5504901 5504667 5504664 5505769 5504606 5505713 5500672 5500687

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