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信越半導体株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第330位 130件 上昇2012年:第404位 100件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第255位 154件 下降2012年:第234位 161件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2013-173631 シリコン単結晶の製造方法 2013年 9月 5日
特開 2013-174524 ウェーハ面取り部の品質検査方法 2013年 9月 5日
特開 2013-170097 シリコン融液面の高さ位置の算出方法およびシリコン単結晶の引上げ方法ならびにシリコン単結晶引上げ装置 2013年 9月 2日
特開 2013-166200 研磨ヘッド及び研磨装置 2013年 8月29日
特開 2013-168415 シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 2013年 8月29日
特開 2013-168345 誘導加熱コイル及び該コイルを使用した単結晶の製造方法 2013年 8月29日
特開 2013-161821 金属汚染評価用シリコン基板の選別方法 2013年 8月19日
特開 2013-162092 ガスの金属汚染評価方法 2013年 8月19日
特開 2013-162094 金属汚染評価方法 2013年 8月19日
特開 2013-162026 気相成長装置の清浄度評価方法及びシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 2013年 8月19日
特開 2013-159525 シリコン単結晶の製造方法及びシリコン単結晶の製造装置 2013年 8月19日
特開 2013-157453 半導体素子、及びその形成方法 2013年 8月15日
特開 2013-153016 貼り合わせSOIウェーハの製造方法 2013年 8月 8日
特開 2013-151385 シリコン単結晶の製造方法 2013年 8月 8日
特開 2013-147407 シリコン単結晶ウエーハ、その酸素析出量の面内均一性評価方法、シリコン単結晶の製造方法 2013年 8月 1日

130 件中 31-45 件を表示

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2013-173631 2013-174524 2013-170097 2013-166200 2013-168415 2013-168345 2013-161821 2013-162092 2013-162094 2013-162026 2013-159525 2013-157453 2013-153016 2013-151385 2013-147407

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