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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特表 2013-546163	光学素子を位置合わせするシステム及びその方法	2013年12月26日
特表 2013-545267	マイクロリソグラフィのための結像光学系	2013年12月19日
特開 2013-254978	マイクロリソグラフィ露光装置においてマスクを照明するための照明系	2013年12月19日
特表 2013-545271	調整機能を最適化した投影露光装置	2013年12月19日
特表 2013-545272	マイクロリソグラフィ投影露光装置のミラーのミラー温度測定及び／又は熱作動用の構成体	2013年12月19日
特開 2013-243357	特にマイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系	2013年12月 5日
特表 2013-543658	ＥＵＶマイクロリソグラフィのための投影露光装置及びマイクロリソグラフィ露光の方法	2013年12月 5日
特表 2013-543274	マイクロリソグラフィ露光装置の投影対物系	2013年11月28日
特開 2013-239709	ＥＵＶリソグラフィ用の光学アセンブリ	2013年11月28日
特表 2013-542593	ミラー、当該ミラーを備える投影対物レンズ、及び当該投影対物レンズを備えるマイクロリソグラフィ用投影露光装置	2013年11月21日
特開 2013-232648	レーザ放射線を均一化するためのデバイス及びそれを製造する方法	2013年11月14日
特表 2013-541829	マイクロリソグラフィ投影露光装置のマルチファセットミラー	2013年11月14日
特表 2013-541729	結像光学系	2013年11月14日
特開 2013-229602	少なくとも１つのマニピュレータを有する投影露光装置	2013年11月 7日
特表 2013-541210	マイクロリソグラフィのための投影露光ツール及びマイクロリソグラフィ結像の方法	2013年11月 7日

93 件中 1-15 件を表示

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2013-546163 2013-545267 2013-254978 2013-545271 2013-545272 2013-243357 2013-543658 2013-543274 2013-239709 2013-542593 2013-232648 2013-541829 2013-541729 2013-229602 2013-541210

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