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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2014年 出願公開件数ランキング    第383位 96件 上昇2013年:第430位 93件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第284位 137件 上昇2013年:第457位 78件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特表 2014-529194 マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズ 2014年10月30日
特開 2014-206756 マイクロリソグラフィ投影対物レンズ 2014年10月30日
特表 2014-529187 構成部品の接続方法及び複合構造 2014年10月30日
特表 2014-529106 結像反射EUV投影光学ユニット 2014年10月30日
特表 2014-529043 減衰装置 2014年10月30日
特開 2014-199461 カタディオプトリック投影対物系 2014年10月23日
特表 2014-528173 マイクロリソグラフィ投影露光装置のミラーの熱作動用の構成体 2014年10月23日
特開 2014-197706 EUVマイクロリソグラフィ用の投影露光装置の照明光学系に使用するための視野ファセットミラー 2014年10月16日
特開 2014-195078 マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系 2014年10月 9日
特表 2014-526792 振動遮断支持ユニットを有する光学結像装置 2014年10月 6日
特表 2014-526152 感光層のパターン付き露光のための露光装置及び方法 2014年10月 2日
特開 2014-179645 マイクロリソグラフィ用の照明光学系 2014年 9月25日
特開 2014-179619 マイクロリソグラフィ投影露光装置のための光学系 2014年 9月25日
特表 2014-525148 マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系及びマイクロリソグラフィ露光方法 2014年 9月25日
特表 2014-525137 ファセットミラーデバイス 2014年 9月25日

96 件中 16-30 件を表示

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2014-529194 2014-206756 2014-529187 2014-529106 2014-529043 2014-199461 2014-528173 2014-197706 2014-195078 2014-526792 2014-526152 2014-179645 2014-179619 2014-525148 2014-525137

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