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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特開 2014-123747	反射光学素子とその製造方法	2014年 7月 3日
特開 2014-123131	遮光瞳を有する高開口率対物光学系	2014年 7月 3日
特開 2014-116609	アクチュエータシステムを備える投影露光装置	2014年 6月26日
特開 2014-112706	ＥＵＶリソグラフィ用の光学機構及び該光学機構を構成する方法	2014年 6月19日
特表 2014-514742	ＥＵＶミラー機構、ＥＵＶミラー機構を備えた光学系、及びＥＵＶミラー機構を備えた光学系を操作する方法	2014年 6月19日
特表 2014-514741	偏向ミラー及び当該偏向ミラーを備えたマイクロリソグラフィ用の投影露光装置	2014年 6月19日
特表 2014-514772	マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系	2014年 6月19日
特開 2014-96601	結像誤差の決定を行う光学結像装置	2014年 5月22日
特表 2014-512677	ミラーアレイ	2014年 5月22日
特表 2014-511997	光学デバイス	2014年 5月19日
特表 2014-511574	マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系	2014年 5月15日
特開 2014-81658	結像光学系及びそのような結像光学系を有するマイクロリソグラフィのための投影露光装置	2014年 5月 8日
特表 2014-511033	ミラーの表面形態を補正する方法	2014年 5月 1日
特開 2014-78736	マイクロリソグラフィー投影露光装置	2014年 5月 1日
特開 2014-74930	瞳ミラーを有する反射屈折投影対物器械、投影露光装置及び方法	2014年 4月24日

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2014-123747 2014-123131 2014-116609 2014-112706 2014-514742 2014-514741 2014-514772 2014-96601 2014-512677 2014-511997 2014-511574 2014-81658 2014-511033 2014-78736 2014-74930

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