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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第383位 96件
(2013年:第430位 93件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第284位 137件
(2013年:第457位 78件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2014-504448 | EUVリソグラフィ系 | 2014年 2月20日 | |
特表 2014-504005 | 投影リソグラフィのための照明光学系 | 2014年 2月13日 | |
特開 2014-22739 | リソグラフィ装置及び方法 | 2014年 2月 3日 | |
特開 2014-13759 | 粒子光学システム及び装置、並びに、かかるシステム及び装置用の粒子光学部品 | 2014年 1月23日 | 共同出願 |
特開 2014-6553 | 結像光学系 | 2014年 1月16日 | |
特開 2014-3290 | EUV用途向けの少なくとも1つのファセットミラーのファセットの角度位置を測定する光学的方法及び光学測定デバイス | 2014年 1月 9日 |
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2014-504448 2014-504005 2014-22739 2014-13759 2014-6553 2014-3290
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6月6日(金) -
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6月10日(火) -
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6月11日(水) -
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6月12日(木) -
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