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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2011年 出願公開件数ランキング    第539位 67件 上昇2010年:第2457位 9件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第817位 34件 上昇2010年:第22882位 0件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4778642 投影露光装置 2011年 9月21日
特許 4771730 結像性能の最適化方法 2011年 9月14日
特許 4772023 位置の操作および/または決定のための運動部材を有する光学装置 2011年 9月14日
特許 4769788 レーザ放射線のコヒーレンスを低減させるためのシステム 2011年 9月 7日
特許 4750043 光学素子のための交換装置 2011年 8月17日
特許 4750183 マイクロリソグラフィー投影光学系 2011年 8月17日
特許 4751958 光学要素とマウントからなるアセンブリ 2011年 8月17日
特許 4747263 オブジェクティブにおける光学素子のための保持装置 2011年 8月17日 共同出願
特許 4730675 マイクロリソグラフィ投影露光装置及びマイクロリソグラフィ露光方法 2011年 7月20日
特許 4717813 マイクロリソグラフィ投影露光設備のための照明系 2011年 7月 6日
特許 4700697 非対称瞳照射を補償するフィルタ装置 2011年 6月15日
特許 4693947 カタディオプトリック光学系およびそれを有する露光装置 2011年 6月 1日
特許 4667580 2つの中間像を持つ反射屈折対物レンズ 2011年 4月13日
特許 4658418 低い熱伝導性の熱負荷を受ける本体に対する温度補償装置 2011年 3月23日
特許 4653160 光学素子 2011年 3月16日

34 件中 16-30 件を表示

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4778642 4771730 4772023 4769788 4750043 4750183 4751958 4747263 4730675 4717813 4700697 4693947 4667580 4658418 4653160

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