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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2012年 出願公開件数ランキング    第437位 89件 上昇2011年:第539位 67件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第478位 72件 上昇2011年:第817位 34件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5070316 マスク 2012年11月14日
特許 5069809 パターンの重ね合わせによる結像光学系の測定 2012年11月 7日
特許 5070242 リソグラフィ装置 2012年11月 7日
特許 5066611 マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム 2012年11月 7日
特許 5068271 マイクロリソグラフィ照明システム、及びこの種の照明システムを含む投影露光装置 2012年11月 7日
特許 5069232 マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズ 2012年11月 7日
特許 5069378 光学試験表面の形状を判定する方法及び装置 2012年11月 7日
特許 5065596 ダイアフラム交換装置 2012年11月 7日
特許 5065031 投影光学系 2012年10月31日
特許 5055384 光学結像装置 2012年10月24日
特許 5048872 投影露光方法、投影露光装置、レーザ放射線源、及びレーザ放射線源用の帯域幅狭化モジュール 2012年10月17日
特許 5047544 リソグラフィ投影対物系の補正方法およびリソグラフィ投影対物系 2012年10月10日
特許 5041810 光学素子操作装置 2012年10月 3日
特許 5033265 温度制御装置を有する光学アセンブリ 2012年 9月26日
特許 5036311 ミラーM3の前にレンズを伴う複数のミラーを含む投影対物レンズ 2012年 9月26日

72 件中 16-30 件を表示

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5070316 5069809 5070242 5066611 5068271 5069232 5069378 5065596 5065031 5055384 5048872 5047544 5041810 5033265 5036311

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