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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第437位 89件 (2011年:第539位 67件)
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第478位 72件 (2011年:第817位 34件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5070316 | マスク | 2012年11月14日 | |
特許 5069809 | パターンの重ね合わせによる結像光学系の測定 | 2012年11月 7日 | |
特許 5070242 | リソグラフィ装置 | 2012年11月 7日 | |
特許 5066611 | マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム | 2012年11月 7日 | |
特許 5068271 | マイクロリソグラフィ照明システム、及びこの種の照明システムを含む投影露光装置 | 2012年11月 7日 | |
特許 5069232 | マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズ | 2012年11月 7日 | |
特許 5069378 | 光学試験表面の形状を判定する方法及び装置 | 2012年11月 7日 | |
特許 5065596 | ダイアフラム交換装置 | 2012年11月 7日 | |
特許 5065031 | 投影光学系 | 2012年10月31日 | |
特許 5055384 | 光学結像装置 | 2012年10月24日 | |
特許 5048872 | 投影露光方法、投影露光装置、レーザ放射線源、及びレーザ放射線源用の帯域幅狭化モジュール | 2012年10月17日 | |
特許 5047544 | リソグラフィ投影対物系の補正方法およびリソグラフィ投影対物系 | 2012年10月10日 | |
特許 5041810 | 光学素子操作装置 | 2012年10月 3日 | |
特許 5033265 | 温度制御装置を有する光学アセンブリ | 2012年 9月26日 | |
特許 5036311 | ミラーM3の前にレンズを伴う複数のミラーを含む投影対物レンズ | 2012年 9月26日 |
72 件中 16-30 件を表示
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5070316 5069809 5070242 5066611 5068271 5069232 5069378 5065596 5065031 5055384 5048872 5047544 5041810 5033265 5036311
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11月25日(月) -
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11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
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12月1日(日) -
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