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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第383位 96件 (2013年:第430位 93件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第284位 137件 (2013年:第457位 78件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5620039 | 少なくとも1つのシステム絞りを備えた光学結像装置 | 2014年11月 5日 | |
特許 5616601 | 光学装置用の接続装置 | 2014年10月29日 | |
特許 5616983 | マスク検査装置の照明系及び投影対物系 | 2014年10月29日 | |
特許 5616789 | 色補正された反射屈折対物系及びそれを含む投影露光装置 | 2014年10月29日 | |
特許 5615855 | 光学アセンブリ | 2014年10月29日 | 共同出願 |
特許 5612595 | 投影露光装置内の光学素子のための重力補償器 | 2014年10月22日 | |
特許 5611443 | マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系 | 2014年10月22日 | |
特許 5608233 | 光学ビーム偏向要素及び調節方法 | 2014年10月15日 | |
特許 5605990 | 結像誤差の判断を備えた光学結像装置 | 2014年10月15日 | 共同出願 |
特許 5602233 | マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学構成体 | 2014年10月 8日 | |
特許 5603868 | EUVマイクロリソグラフィ用の投影露光装置の照明光学系に使用するための視野ファセットミラー | 2014年10月 8日 | |
特許 5601694 | 反射コーティングを備えたミラー要素を有する投影対物レンズ | 2014年10月 8日 | |
特許 5600680 | 結像光学系 | 2014年10月 1日 | |
特許 5597246 | 結像光学系及びこの種の結像光学系を備えたマイクロリソグラフィ用の投影露光装置 | 2014年10月 1日 | |
特許 5599606 | マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム | 2014年10月 1日 |
137 件中 16-30 件を表示
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5620039 5616601 5616983 5616789 5615855 5612595 5611443 5608233 5605990 5602233 5603868 5601694 5600680 5597246 5599606
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11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月28日(木) - 東京 港区
12月2日(月) - 滋賀 草津市
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12月2日(月) -
12月4日(水) - 東京 千代田区
12月4日(水) - 東京 港区
12月4日(水) -
12月4日(水) - 大阪 大阪市
12月4日(水) -
12月4日(水) -
12月5日(木) - 東京 港区
12月5日(木) -
12月5日(木) -
12月5日(木) - 大阪 大阪市
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12月6日(金) -
12月6日(金) - 愛知 豊橋市花田町
12月6日(金) -
12月2日(月) - 滋賀 草津市
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