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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特許 5008551	ハウジング構造体	2012年 8月22日
特許 4988066	調整機能を最適化した投影露光装置	2012年 8月 1日
特許 4990287	波長が１９３ｎｍ以下の照明システム用集光器	2012年 8月 1日
特許 4981177	マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系	2012年 7月18日
特許 4980922	マイクロリソグラフィ投影露光装置及びマイクロリソグラフィ投影露光装置の像面湾曲を修正するための方法	2012年 7月18日
特許 4978816	光学装置及び光学装置の結像挙動を補正又は改善する方法	2012年 7月18日
特許 4970533	ＥＵＶリソグラフィ用照明システム及びこの種の照明システムに使用する第１及び第２の光学要素	2012年 7月11日
特許 4967075	ＥＵＶリソグラフィのためのウェハチャック	2012年 7月 4日
特許 4968558	マイクロリソグラフィのための投影対物器械、その投影対物器械を有するマイクロリソグラフィ投影露光装置、構成要素のためのマイクロリソグラフィ製造方法、並びにその方法を用いて製造される構成要素	2012年 7月 4日
特許 4958562	偏光変調光学素子	2012年 6月20日
特許 4954067	カタディオプトリック投影対物レンズ	2012年 6月13日
特許 4934131	光学要素の支持装置	2012年 5月16日
特許 4933671	マイクロリソグラフィ投影露光装置のための照明システム	2012年 5月16日
特許 4927529	反射性光学要素およびＥＵＶリソグラフィー装置	2012年 5月 9日
特許 4921580	反射屈折投影対物系	2012年 4月25日

72 件中 46-60 件を表示

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5008551 4988066 4990287 4981177 4980922 4978816 4970533 4967075 4968558 4958562 4954067 4934131 4933671 4927529 4921580

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