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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第430位 93件 (2012年:第437位 89件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5225075 | マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系 | 2013年 7月 3日 | |
特許 5222142 | 粒子光学部品 | 2013年 6月26日 | 共同出願 |
特許 5218994 | 複数の1次光源を有する光学要素 | 2013年 6月26日 | |
特許 5216015 | 対物レンズ部品を交換する方法及び装置 | 2013年 6月19日 | |
特許 5215467 | 低汚染光学装置 | 2013年 6月19日 | |
特許 5214031 | 半導体リソグラフィのための投影露光装置における振動減衰方法 | 2013年 6月19日 | |
特許 5208266 | 光学アパーチャ装置 | 2013年 6月12日 | |
特許 5209880 | 光学的放射の偏光の状態に対する光学系の影響を近似する方法 | 2013年 6月12日 | |
特許 5200182 | マイクロリソグラフィ投影露光装置用の照明光学系 | 2013年 5月15日 | |
特許 5199068 | 光学エレメント調整組立体 | 2013年 5月15日 | |
特許 5193330 | 偏光変調光学素子 | 2013年 5月 8日 | |
特許 5193227 | 半導体リソグラフィシステム及びその使用方法 | 2013年 5月 8日 | |
特許 5194030 | マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系のマルチミラーアレイを監視するための方法および装置 | 2013年 5月 8日 | |
特許 5183955 | 光学エレメントのための保持デバイス | 2013年 4月17日 | |
特許 5179077 | 投影露光装置の照明デバイスの光学システム | 2013年 4月10日 |
78 件中 46-60 件を表示
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5225075 5222142 5218994 5216015 5215467 5214031 5208266 5209880 5200182 5199068 5193330 5193227 5194030 5183955 5179077
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11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
12月2日(月) - 滋賀 草津市
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12月4日(水) - 東京 千代田区
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12月4日(水) -
12月4日(水) - 大阪 大阪市
12月5日(木) - 東京 港区
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12月5日(木) -
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12月6日(金) -
12月6日(金) - 愛知 豊橋市花田町
12月6日(金) -
12月2日(月) - 滋賀 草津市
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