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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特許 5561508	マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム	2014年 7月30日
特許 5559543	投影対物器械を製造する方法及びこの方法によって製造される投影対物器械	2014年 7月23日
特許 5555719	マイクロリソグラフィのための照明系	2014年 7月23日
特許 5554245	マイクロリソグラフィ露光装置のマスク照明用の照明系	2014年 7月23日
特許 5559165	変形可能な光学素子を有する光学装置	2014年 7月23日
特許 5559462	マイクロリソグラフィのための投影光学系	2014年 7月23日
特許 5548781	ＥＵＶ波長域用のミラー、当該ミラー用の基板、当該ミラー又は当該基板を備えるマイクロリソグラフィ用の投影対物レンズ、及び当該投影対物レンズを備えるマイクロリソグラフィ用の投影露光装置	2014年 7月16日
特許 5548743	反射屈折投影対物レンズ	2014年 7月16日
特許 5548135	マイクロリソグラフィ用の照明光学系	2014年 7月16日
特許 5552140	ＥＵＶリソグラフィ用の光学機構及び該光学機構を構成する方法	2014年 7月16日
特許 5543549	光学結像装置	2014年 7月 9日
特許 5547261	光学モジュール	2014年 7月 9日
特許 5543201	光学結像装置	2014年 7月 9日
特許 5543516	ＥＵＶリソグラフィ用照明システム及びこの種の照明システムに使用する第１及び第２の光学要素	2014年 7月 9日
特許 5539925	光学構成体用の装置及び光学構成体の光学素子を位置決めする方法	2014年 7月 2日

137 件中 46-60 件を表示

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5561508 5559543 5555719 5554245 5559165 5559462 5548781 5548743 5548135 5552140 5543549 5547261 5543201 5543516 5539925

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