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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2014年 出願公開件数ランキング    第383位 96件 上昇2013年:第430位 93件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第284位 137件 上昇2013年:第457位 78件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5539925 光学構成体用の装置及び光学構成体の光学素子を位置決めする方法 2014年 7月 2日
特許 5540030 光学アセンブリ 2014年 7月 2日
特許 5534540 マイクロリソグラフィ投影露光装置用の照明光学系 2014年 7月 2日
特許 5529922 マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム 2014年 6月25日
特許 5527970 投影対物系の結像特性を改良する方法 2014年 6月25日
特許 5530525 光学システムの、特にマイクロリソグラフィ投影露光装置の光学構成体 2014年 6月25日
特許 5525550 マイクロリソグラフィ用の照明光学系及び光学系 2014年 6月18日
特許 5526152 アクチュエータシステムを備える投影露光装置 2014年 6月18日
特許 5522520 光学レンズ系 2014年 6月18日
特許 5525608 マイクロリソグラフィ投影露光装置においてマスクを照明するための照明系 2014年 6月18日
特許 5524067 光学素子の温度制御装置 2014年 6月18日
特許 5519664 マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系 2014年 6月11日
特許 5521029 複屈折を測定する測定法及び測定システム 2014年 6月11日
特許 5514175 物体の結合方法および複合体 2014年 6月 4日
特許 5508577 第1および第2付加中間層を備えるEUVリソグラフィ装置用多層反射光学素子 2014年 6月 4日

137 件中 61-75 件を表示

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5539925 5540030 5534540 5529922 5527970 5530525 5525550 5526152 5522520 5525608 5524067 5519664 5521029 5514175 5508577

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