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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第430位 93件
(2012年:第437位 89件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第457位 78件
(2012年:第478位 72件)
(ランキング更新日:2025年6月6日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5128665 | 寄生負荷最小化光学素子モジュール | 2013年 1月23日 | |
特許 5122006 | マイクロリソグラフィ投影露光機の製造方法、対応する投影露光機及びそのための投影対物レンズ | 2013年 1月16日 | |
特許 5112455 | マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム | 2013年 1月 9日 |
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5128665 5122006 5112455
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