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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7606805	マイクロリソグラフィ用投影光学ユニットおよび構造化構成要素の製造方法	2024年12月26日
特許 7606003	層形成方法、光学素子、及び光学系	2024年12月24日
特許 7598319	破壊的干渉によって少なくとも１つの目標波長を抑制するための光回折構成要素	2024年12月11日
特許 7590417	ミラーアセンブリ及びこれを備えた光学アセンブリ	2024年11月26日
特許 7589235	光学素子及びＥＵＶリソグラフィシステム	2024年11月25日
特許 7583192	オブジェクトの表面を処理するための方法、装置、およびコンピュータプログラム	2024年11月13日
特許 7579788	光学配置を有する半導体リソグラフィのための投影露光システム	2024年11月 8日
特許 7579426	リソグラフィマスクをエッチングするための方法および装置	2024年11月 7日
特許 7573369	投影露光装置用の光学系	2024年10月25日
特許 7569390	ＶＵＶ波長域用の光学素子、光学装置、及び光学素子を製造する方法	2024年10月17日
特許 7565324	物体視野を像視野内に結像するための投影光学ユニット及びそのような投影光学ユニットを含む投影露光装置	2024年10月10日
特許 7564839	フォトリソグラフィマスク上の要素の位置を決定するための装置および方法	2024年10月 9日
特許 7564162	ペイロードを支持する防振装置	2024年10月 8日
特許 7561839	表面形状を干渉測定する計測装置	2024年10月 4日
特許 7561156	マスクの欠陥を修復するための方法、装置、およびコンピュータプログラム	2024年10月 3日

51 件中 1-15 件を表示

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7606805 7606003 7598319 7590417 7589235 7583192 7579788 7579426 7573369 7569390 7565324 7564839 7564162 7561839 7561156

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