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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特許 5513889	投影露光法および投影露光法のための投影露光システム	2014年 6月 4日
特許 5514175	物体の結合方法および複合体	2014年 6月 4日
特許 5510987	マイクロリソグラフィ投影露光装置	2014年 6月 4日
特許 5507501	マイクロリソグラフィ投影光学系、ある機器を製造するための方法、光学面を設計する方法	2014年 5月28日
特許 5507016	マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系及び像配置誤差を低減する方法	2014年 5月28日
特許 5498385	マイクロリソグラフィ用の投影対物系	2014年 5月21日
特許 5497683	偏光変調光学素子	2014年 5月21日
特許 5490243	ＥＵＶリソグラフィ用投影露光装置の光学構成体	2014年 5月14日
特許 5490063	液浸リソグラフィー用投影対物レンズ	2014年 5月14日
特許 5491618	ＥＵＶ波長域用のミラー、そのようなミラーを備えるマイクロリソグラフィ用の投影対物鏡、およびそのような投影対物鏡を備えるマイクロリソグラフィ用の投影露光装置	2014年 5月14日
特許 5487110	マイクロリソグラフィ投影露光装置	2014年 5月 7日
特許 5485384	物体視野を像視野に結像するための結像光学系及び物体視野を照明するための照明光学系	2014年 5月 7日
特許 5486082	浸液蒸発作用の低い光学結像	2014年 5月 7日
特許 5486003	半導体部品を製造するためのマイクロリソグラフィ用の投影露光装置	2014年 5月 7日
特許 5485499	一時的に基板を支持する支持構造	2014年 5月 7日

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5513889 5514175 5510987 5507501 5507016 5498385 5497683 5490243 5490063 5491618 5487110 5485384 5486082 5486003 5485499

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