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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特許 5484467	ＥＵＶリソグラフィ装置のための保護モジュール、およびＥＵＶリソグラフィ装置	2014年 5月 7日
特許 5485499	一時的に基板を支持する支持構造	2014年 5月 7日
特許 5481192	光学表面の実際形状の所望形状からの偏差を測定する方法および装置	2014年 4月23日
特許 5479890	マイクロリソグラフィ投影光学システム、装置、及び製造方法	2014年 4月23日
特許 5479889	デバイス製造用のマイクロリソグラフィ投影光学システム及び方法	2014年 4月23日
特許 5476591	マイクロリソグラフィ用投影対物レンズ	2014年 4月23日
特許 5476482	反射光学構成要素と測定デバイスとを含む反射屈折投影対物系	2014年 4月23日
特許 5481475	マイクロリソグラフィのための投影露光システムおよび側方結像安定性監視方法	2014年 4月23日
特許 5478773	光学系、露光装置、及び波面補正方法	2014年 4月23日
特許 5480232	投影露光系、このような投影露光系の補助により微細構造の構成部材を製造する方法、このような系において使用するために適応させた偏光光学素子	2014年 4月23日
特許 5475448	画像変化を補正する方法及びシステム	2014年 4月16日
特許 5469778	結像光学系及びそのような結像光学系を有するマイクロリソグラフィのための投影露光装置	2014年 4月16日
特許 5475785	マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム	2014年 4月16日
特許 5475220	光学撮像装置および方法	2014年 4月16日
特許 5465247	マイクロリソグラフィ投影露光装置における偏光分布を修正する方法及びマイクロリソグラフィ投影露光装置	2014年 4月 9日

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5484467 5485499 5481192 5479890 5479889 5476591 5476482 5481475 5478773 5480232 5475448 5469778 5475785 5475220 5465247

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