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ギガフォトン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第1081位 25件 下降2013年:第520位 74件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第629位 51件 上昇2013年:第699位 46件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5474891 光源装置及びそれを用いた露光装置 2014年 4月16日
特許 5474576 レーザ光増幅器及びそれを用いたレーザ装置 2014年 4月16日
特許 5454842 高繰返し高出力エキシマレーザー装置 2014年 3月26日
特許 5454881 極端紫外光源装置及び極端紫外光の発生方法 2014年 3月26日
特許 5454978 レーザ装置管理システム 2014年 3月26日
特許 5455661 極端紫外光源装置 2014年 3月26日
特許 5448775 極端紫外光源装置 2014年 3月19日
特許 5448402 ガスフロー式SPFを備えた極端紫外光源装置 2014年 3月19日
特許 5438460 極端紫外光源装置 2014年 3月12日
特許 5439530 露光用放電励起レーザ装置 2014年 3月12日
特許 5439541 極端紫外光を用いる半導体露光装置 2014年 3月12日
特許 5429956 エキシマレーザ装置 2014年 2月26日
特許 5425251 露光用放電励起レーザ装置 2014年 2月26日
特許 5425265 極端紫外光源装置 2014年 2月26日
特許 5429950 レーザ装置 2014年 2月26日

51 件中 31-45 件を表示

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5474891 5474576 5454842 5454881 5454978 5455661 5448775 5448402 5438460 5439530 5439541 5429956 5425251 5425265 5429950

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