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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2014年 出願公開件数ランキング    第473位 74件 下降2013年:第410位 100件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第336位 115件 上昇2013年:第439位 82件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-102929 カソード、カソードの製造方法 2014年 6月 5日
特開 2014-103308 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビームの照射量チェック方法 2014年 6月 5日
特開 2014-93458 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2014年 5月19日
特開 2014-89215 検査装置 2014年 5月15日
特開 2014-89881 カソード選別方法 2014年 5月15日
特開 2014-85217 焦点位置検出装置、検査装置、焦点位置検出方法および検査方法 2014年 5月12日
特開 2014-77732 検査装置および検査装置システム 2014年 5月 1日
特開 2014-75336 熱陰極、電子放射装置、及び熱陰極の製造方法 2014年 4月24日
特開 2014-75520 荷電粒子ビーム描画装置 2014年 4月24日
特開 2014-60194 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2014年 4月 3日
特開 2014-55789 パターン評価方法およびパターン評価装置 2014年 3月27日
特開 2014-49545 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 2014年 3月17日
特開 2014-49690 マスク描画装置、電子ビームの補正方法 2014年 3月17日
特開 2014-45151 セトリング時間の設定方法、荷電粒子ビーム描画方法、および荷電粒子ビーム描画装置 2014年 3月13日
特開 2014-41862 荷電粒子ビーム補正方法および荷電粒子ビーム描画装置 2014年 3月 6日

74 件中 46-60 件を表示

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2014-102929 2014-103308 2014-93458 2014-89215 2014-89881 2014-85217 2014-77732 2014-75336 2014-75520 2014-60194 2014-55789 2014-49545 2014-49690 2014-45151 2014-41862

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