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株式会社ニューフレアテクノロジー

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株式会社ニューフレアテクノロジーの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日	備考
特開 2013-51351	気相成長装置及び気相成長方法	2013年 3月14日
特開 2013-51350	気相成長方法及び気相成長装置	2013年 3月14日
特開 2013-48262	サセプタ、半導体製造装置及び半導体製造方法	2013年 3月 7日
特開 2013-45799	成膜装置および成膜方法	2013年 3月 4日
特開 2013-45876	ショットデータの作成方法、荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法	2013年 3月 4日
特開 2013-40873	パターン検査装置及びパターン検査方法	2013年 2月28日
特開 2013-42031	荷電粒子ビーム描画装置及び試料ずれ検出方法	2013年 2月28日
特開 2013-42092	薄膜処理方法	2013年 2月28日	共同出願
特開 2013-38225	成膜装置および成膜方法	2013年 2月21日
特開 2013-38397	荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法	2013年 2月21日
特開 2013-38297	荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法	2013年 2月21日
再表 2011-36801	電子ビーム記録装置	2013年 2月14日
特開 2013-30758	成膜装置および成膜方法	2013年 2月 7日	共同出願
特開 2013-26364	気相成長方法及び気相成長装置	2013年 2月 4日
特開 2013-26489	温度調整用マスク及び荷電粒子ビーム描画装置の温度調整方法	2013年 2月 4日

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2013-51351 2013-51350 2013-48262 2013-45799 2013-45876 2013-40873 2013-42031 2013-42092 2013-38225 2013-38397 2013-38297 2011-36801 2013-30758 2013-26364 2013-26489

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