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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2012年 特許取得件数ランキング    第464位 75件 上昇2011年:第886位 31件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5063035 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 2012年10月31日
特許 5048558 基板検査方法および基板検査装置 2012年10月17日
特許 5047223 気相成長装置におけるガス混合回避方法 2012年10月10日
特許 5038073 半導体製造装置および半導体製造方法 2012年10月 3日
特許 5033018 重なり図形の検査装置、荷電粒子ビーム描画装置及び重なり図形の検査方法 2012年 9月26日
特許 5032828 気相成長装置 2012年 9月26日
特許 5025964 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 2012年 9月12日
特許 5020745 描画データの作成方法及び荷電粒子ビーム描画装置 2012年 9月 5日
特許 5020746 荷電粒子ビーム描画方法 2012年 9月 5日
特許 5020849 荷電粒子ビーム描画装置、パターンの寸法誤差補正装置及びパターンの寸法誤差補正方法 2012年 9月 5日
特許 5010701 検査装置および検査方法 2012年 8月29日 共同出願
特許 5010388 荷電粒子ビーム描画装置及び描画装置の故障部品候補情報の作成方法 2012年 8月29日
特許 5010513 アライメントマーク判定装置、アライメントマーク生成装置、描画装置及び描画方法 2012年 8月29日
特許 5010235 気相成長方法 2012年 8月29日
特許 5014702 気相成長装置および気相成長方法 2012年 8月29日

75 件中 16-30 件を表示

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5063035 5048558 5047223 5038073 5033018 5032828 5025964 5020745 5020746 5020849 5010701 5010388 5010513 5010235 5014702

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