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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2024年 特許取得件数ランキング    第431位 65件 上昇2023年:第509位 54件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7604330 描画装置及び描画方法 2024年12月23日
特許 7604354 検査装置及び焦点位置調整方法 2024年12月23日
特許 7604355 ブランキングアパーチャアレイシステム及び荷電粒子ビーム描画装置 2024年12月23日
特許 7599405 描画装置の制御方法および描画装置 2024年12月13日
特許 7592556 ブランキングアパーチャアレイユニット 2024年12月 2日
特許 7592564 放電部位検出方法および放電部位検出装置 2024年12月 2日
特許 7589107 参照画像生成方法及びパターン検査装置 2024年11月25日
特許 7589190 成膜方法 2024年11月25日
特許 7582000 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びその調整方法 2024年11月13日
特許 7578427 パターン検査装置及びパターン検査方法 2024年11月 6日
特許 7574678 波形生成装置、波形生成方法及び荷電粒子ビーム照射装置 2024年10月29日
特許 7574157 検査装置及び参照画像生成方法 2024年10月28日
特許 7573396 θステージ機構及び電子ビーム検査装置 2024年10月25日
特許 7573457 電子銃の陰極機構、電子銃、及び電子ビーム描画装置 2024年10月25日
特許 7568166 マルチ荷電粒子ビーム描画領域の実効温度算出方法、マルチ荷電粒子ビーム描画装置、マルチ荷電粒子ビーム描画方法、及びプログラム 2024年10月16日

66 件中 1-15 件を表示

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7604330 7604354 7604355 7599405 7592556 7592564 7589107 7589190 7582000 7578427 7574678 7574157 7573396 7573457 7568166

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