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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5063035 | 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 | 2012年10月31日 | |
特許 5048558 | 基板検査方法および基板検査装置 | 2012年10月17日 | |
特許 5047223 | 気相成長装置におけるガス混合回避方法 | 2012年10月10日 | |
特許 5038073 | 半導体製造装置および半導体製造方法 | 2012年10月 3日 | |
特許 5033018 | 重なり図形の検査装置、荷電粒子ビーム描画装置及び重なり図形の検査方法 | 2012年 9月26日 | |
特許 5032828 | 気相成長装置 | 2012年 9月26日 | |
特許 5025964 | 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 | 2012年 9月12日 | |
特許 5020745 | 描画データの作成方法及び荷電粒子ビーム描画装置 | 2012年 9月 5日 | |
特許 5020746 | 荷電粒子ビーム描画方法 | 2012年 9月 5日 | |
特許 5020849 | 荷電粒子ビーム描画装置、パターンの寸法誤差補正装置及びパターンの寸法誤差補正方法 | 2012年 9月 5日 | |
特許 5010701 | 検査装置および検査方法 | 2012年 8月29日 | 共同出願 |
特許 5010388 | 荷電粒子ビーム描画装置及び描画装置の故障部品候補情報の作成方法 | 2012年 8月29日 | |
特許 5010513 | アライメントマーク判定装置、アライメントマーク生成装置、描画装置及び描画方法 | 2012年 8月29日 | |
特許 5010235 | 気相成長方法 | 2012年 8月29日 | |
特許 5014702 | 気相成長装置および気相成長方法 | 2012年 8月29日 |
75 件中 16-30 件を表示
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5063035 5048558 5047223 5038073 5033018 5032828 5025964 5020745 5020746 5020849 5010701 5010388 5010513 5010235 5014702
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