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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2014年 出願公開件数ランキング    第473位 74件 下降2013年:第410位 100件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第336位 115件 上昇2013年:第439位 82件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5563801 荷電粒子ビーム分解能測定方法および荷電粒子ビーム描画装置 2014年 7月30日
特許 5561968 荷電粒子ビーム描画装置、荷電粒子ビーム描画方法および振動成分抽出方法 2014年 7月30日
特許 5554620 描画装置、描画方法および描画装置の異常診断方法 2014年 7月23日
特許 5555437 電子ビーム描画装置 2014年 7月23日
特許 5547553 荷電粒子ビーム描画装置およびその制御方法 2014年 7月16日
特許 5547567 荷電粒子ビーム描画装置およびその制御方法 2014年 7月16日
特許 5548375 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2014年 7月16日
特許 5552263 荷電粒子ビーム描画装置の基板位置測定方法および荷電粒子ビーム描画装置 2014年 7月16日
特許 5542584 成膜装置および成膜方法 2014年 7月 9日 共同出願
特許 5542560 半導体製造装置およびサセプタのクリーニング方法 2014年 7月 9日 共同出願
特許 5547113 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法 2014年 7月 9日
特許 5537766 気相成長装置及び気相成長方法 2014年 7月 2日
特許 5530688 荷電粒子ビーム描画装置およびその近接効果補正方法 2014年 6月25日
特許 5530724 荷電粒子ビーム描画装置およびその近接効果補正方法 2014年 6月25日
特許 5525902 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2014年 6月18日

115 件中 31-45 件を表示

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5563801 5561968 5554620 5555437 5547553 5547567 5548375 5552263 5542584 5542560 5547113 5537766 5530688 5530724 5525902

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