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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2013年 特許取得件数ランキング    第439位 82件 上昇2012年:第464位 75件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5209200 荷電粒子ビーム描画方法 2013年 6月12日
特許 5208850 成膜装置 2013年 6月12日
特許 5204687 荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置 2013年 6月 5日
特許 5204697 荷電粒子ビーム描画装置及び位置測定方法 2013年 6月 5日
特許 5204599 レイアウト表示装置及びレイアウト表示方法 2013年 6月 5日
特許 5203995 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2013年 6月 5日
特許 5204451 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法 2013年 6月 5日
特許 5204721 成膜装置および成膜方法 2013年 6月 5日
特許 5203992 電子ビーム描画装置及び電子ビーム描画方法 2013年 6月 5日
特許 5199921 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビームの光軸ずれ補正方法 2013年 5月15日
特許 5199756 成形ビームのオフセット偏向量取得方法及び描画装置 2013年 5月15日
特許 5199786 描画データの分割領域データ量の取得方法及び描画データの分割領域データ量の取得装置 2013年 5月15日
特許 5199896 描画方法及び描画装置 2013年 5月15日
特許 5184188 電子ビーム描画装置及び位置ずれ量補正方法 2013年 4月17日
特許 5174531 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画装置における描画方法 2013年 4月 3日

82 件中 46-60 件を表示

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5209200 5208850 5204687 5204697 5204599 5203995 5204451 5204721 5203992 5199921 5199756 5199786 5199896 5184188 5174531

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