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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2014年 出願公開件数ランキング    第473位 74件 下降2013年:第410位 100件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第336位 115件 上昇2013年:第439位 82件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5525798 荷電粒子ビーム描画装置およびその帯電効果補正方法 2014年 6月18日
特許 5525352 偏向アンプの評価方法および荷電粒子ビーム描画装置 2014年 6月18日
特許 5525936 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2014年 6月18日
特許 5525739 パターン検査装置及びパターン検査方法 2014年 6月18日
特許 5520161 電子銃のコンディショニング方法および電子ビーム描画装置 2014年 6月11日
特許 5514754 検査装置および検査方法 2014年 6月 4日
特許 5513578 サセプタ、半導体製造装置及び半導体製造方法 2014年 6月 4日
特許 5498105 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 2014年 5月21日
特許 5496721 成膜装置および成膜方法 2014年 5月21日 共同出願
特許 5500953 成膜装置および成膜方法 2014年 5月21日
特許 5497584 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2014年 5月21日
特許 5495540 描画方法及び描画装置 2014年 5月21日
特許 5498106 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 2014年 5月21日
特許 5491373 電子銃のコンディショニング方法および電子線描画装置 2014年 5月14日
特許 5484808 描画装置及び描画方法 2014年 5月 7日

115 件中 46-60 件を表示

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5525798 5525352 5525936 5525739 5520161 5514754 5513578 5498105 5496721 5500953 5497584 5495540 5498106 5491373 5484808

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